MYS serija – MYW10 plazminė sistema Įgalina labai lanksčius, didelio našumo plokštelių paviršiaus apdorojimo procesus Sparčiai augant elektronikos surinkimo ir puslaidininkių rinkoms, pramonės reikalavimai gamybos efektyvumui ir patikimumui ir toliau auga. Pašalinus laukimo laiką, susijusį su tradiciniu vakuuminiu plazmos apdorojimu, MYS serijos valymo įranga užtikrina žymiai didesnį pralaidumą ir geresnę bendrą išeigą, kartu užtikrindama saugų visų jautrių elektroninių komponentų tvarkymą.
CKD Technology sandėlyje yra ne tik visiškai naujų mašinų, kurias galima įsigyti iš karto.
Mes taip pat turime išsamią nuomos verslą, pasiruošę patenkinti jūsų specifinius gamybos reikalavimus ir žymiai sumažinti jūsų pradines investicijas. Norėdami gauti daugiau informacijos, susisiekite su mumis.
CKD turi profesionalių inžinierių komandą, pasiruošusią teikti „iki raktų“ paslaugą.
Dėl prekybos naudotomis mašinomis susisiekite su mumis Whatspp arba el.
MYW10 plazminė sistema užtikrina labai lankstų, didelio našumo plokštelių paviršiaus apdorojimo procesą.
• Atmosferos slėgio argono plazmos sistema
• 100 mm pločio inline plazmos partijos apdorojimas; siūlo 2–5 kartus didesnį efektyvumą ir daugiau nei 30 % mažesnes eksploatavimo išlaidas, palyginti su tradiciniais metodais
• 100% neutrali plazma; saugus ir švelnus jautriems elektroniniams komponentams – nėra plazmos bombardavimo, statinės elektros, kibirkščių, lanko, dulkių, didelio karščio, paviršiaus raibuliavimo ar UV spinduliuotės, todėl gaminiui nepakenks
• Universalūs cheminiai procesai: O2 procesas organiniams teršalams pašalinti; H2 metalo oksidų šalinimo ir gaminių paviršių aktyvinimo procesas
• Nesukelia užteršimo dalelėmis arba nepakeičia plokštelės paviršiaus šiurkštumo
• Suderinamas tiek su plokštelių, tiek su juostelių rėmelių gamyba, todėl galima greitai perjungti juos
• Atitinka 10 klasės švarių patalpų ir SEMI standartus
Specifikacijos
Pagrindiniai parametrai
MYW10
Galios reikalavimai
AC 380V, 13kW, 20A, 50/60Hz
Oro slėgio reikalavimai
90psi (6 barai)
Matmenys
2000 x 2800 x 2200 mm
Svoris
2200 kg
Sertifikavimo standartai
SEMI S2/S6/S8
Padėties nustatymo tikslumas
XY: ±20 µm @ 3σ; Z: ±10 µm @ 3σ
XYZ ašies pakartojamumas
XY: ±10 µm @ 3σ; Z: ±5 µm @ 3σ
Maksimalus greitis
1000 mm/s (XY)
Pagreitis
1,0 g
Vairavimo sistema
AC servo
Darbo platformos specifikacijos
Pakrovimo/iškrovimo būdas
OHT + pakrovimo prievadas + robotinė rankena
Robotinės rankos naudingoji apkrova
3 kg
Suderinamas vaflių dydis
12 colių (300 mm)
Programinės įrangos operacinė sistema
Windows 10
X/Y Kelionės
400 mm / 500 mm
Z-Axis kelionės
20 mm
Ryšio protokolas
SECS/GEM
Veikimo diapazonas
Plazmos apdorojimo sritis (P × D)
300×300 mm
Po apdorojimo vandens kontakto kampas (WCA)
WCA < 10° (silicio plokštelė)
Plazmos gydymo metodas
O2 organinių teršalų pašalinimo procesas H2 metalo oksido šalinimo procesas
Plazmos sistemos reikalavimai
RF galia
600W esant 27,12MHz
Pagrindinės plazminės dujos
Argonas
Proceso dujos
O2, N2 arba H2
Dujų tiekimo slėgio diapazonas
40–100 psi (0,3–0,7 MPa)
Hot Tags: MYW10 grandinės gamintojas, MYW10 grandinės tiekėjas, patvarios pramoninės grandinės didmeninė prekyba
Jei turite klausimų dėl pasiūlymo ar bendradarbiavimo, nedvejodami rašykite el. paštu arba naudokite šią užklausos formą. Mūsų pardavimo atstovas susisieks su jumis per 24 valandas.
Naudojame slapukus siekdami pasiūlyti geresnę naršymo patirtį, analizuoti svetainės srautą ir suasmeninti turinį. Naudodamiesi šia svetaine sutinkate su mūsų slapukų naudojimu.Privatumo politika